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氣相沉積裝備
精工銳意氣相沉積裝備主要用于大尺寸、高品質(zhì)單晶/多晶金剛石的生產(chǎn)制造。微波等離子體化學(xué)氣相沉積(MPCVD)技術(shù)具有低污染、沉積面積大、生長速率高的突出技術(shù)優(yōu)勢(shì),是國際上公認(rèn)的大尺寸、高品級(jí)、功能金剛石產(chǎn)業(yè)化制備的最佳方法。
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